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整機(jī)結(jié)構(gòu)
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帶load port系統(tǒng)分為前端設(shè)備操作單元、前端EFEM單元及等離子處理單元，前端EFEM系統(tǒng)與等離子體處理單元分體式設(shè)計(jì)
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等離子體源
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射頻等離子體源或雙頻等離子體源
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反應(yīng)腔室
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標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)為雙反應(yīng)腔室，可根據(jù)需求定制單反應(yīng)腔室和多反應(yīng)腔室結(jié)構(gòu)
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機(jī)械傳片
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單臂或雙臂高精度機(jī)械手
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Wafer升降
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機(jī)械式Wafer pin升降結(jié)構(gòu)，Wafer pin采用特定工藝處理
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前真空泵
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干式真空泵，根據(jù)安裝位置及工藝不同，選擇100-300m3/h規(guī)格
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高真空真空泵
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分子泵（水冷或CDA冷卻）
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工藝壓力控制
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自動(dòng)調(diào)壓蝶閥
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真空檢測(cè)
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管道真空計(jì)、反應(yīng)腔室全量程真空計(jì)、工藝真空計(jì)、壓差開(kāi)關(guān)
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工藝氣體種類(lèi)
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標(biāo)準(zhǔn)配置高純Ar、N2、O2，可增加其他高純工藝氣體
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氣體流量控制
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質(zhì)量流量控制器（MFC）
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控制系統(tǒng)
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基于工業(yè)電腦設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)的人機(jī)交互系統(tǒng)，系統(tǒng)設(shè)計(jì)人性化、操作簡(jiǎn)單
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